QFR系列气浮转台的产品特点;非接触式结构;QFR采用无齿槽无刷电机和气浮轴承,.大限度的提高了定位性能。电机采用的磁路设计,以小的热量产生高扭矩输出,无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射,这使得QFR非常适合在低速或高速下平滑快速旋转等应用。高精度性能;气浮转台采用精密圆光栅反馈,的驱动控制对光栅信号细分,分辨率0.01角秒,轴向跳动误差<80nm。定制化设计;气浮转台可安装滑环,用于测试速度稳定性,MEMS和惯性导航等应用。如需了解多,欢迎来电咨询!!! QFHDS双轴精密气浮运动台的特点;随着半导体行业的不断发展,相应的加工检测设备的性能必须提高,我司在运动控制上有着丰富的定位经验,推出了一款平面式H形双轴精密气浮运动台。QFHDS采用有限元分析优化的碳化硅陶瓷结构和气浮轴承补偿设计技术,提高精度的同时,也提供了高动态性能。广泛应用于半导体加工、检测,微纳加工、纳米级飞切抛光加工及高速扫描等行业。产品特点:采用碳化硅陶瓷气浮导轨,性能精度;速度1m,加速度4g,快速的整定时间;Y轴双驱双龙门结构,承载能力强;可选光栅或激光干涉仪位置反馈;定位精度±0.15um,重复定位精度±75nm;优化线缆管理系统;根据需求可定制。RBDLA系列是叠层紧凑的中空外形结构,对于需要高动态性能和微米级直线度的双面LED晶圆加工及检测,以及需要高精度和精确性能的测量应用中至关重要,无论以上任何应用,RBDLA系列的设计都能满足要求。同时使用于CCD成像、LED封装检测等其它制造等行业。特点是:叠层式布局,紧凑型中空结构,分别采用双直线电机和导轨,微动步距20nm,优化后的高动态性能、高精度,集成式线缆管理。如需了解多,欢迎来电咨询!!! 晶圆测量系统解决方案:系统在以生产快速运行时,能否准确识别和测量出晶圆的种种缺陷。这要求机械装置的刚性高,精度好,能够快速响应使系统能够快速稳定下来,达到目标扫描速度识别出晶圆的种种缺陷,满足晶圆每小时生产效率的关键要求。针对本行业应用,我司研发出QFHDS双轴H形精密气浮运动台,同时满足许多高精度应用,如半导体加工,光子学,精密扫描,以及平板显示器制造中。该平台均是直接驱动、直接反馈型设备,经过大量的测试,可确保达到的精度和稳定性性能。如需了解多,欢迎来电咨询!!! RBDLA系列双轴精密线轨运动台的产品特点;叠层紧凑的中空外形结构,留出.大的工作空间,并将总高度保持在小,光栅反馈接近于工作表面,重复定位精度可达±0.5um,通过这种优化设计,从而获得的性能和较低成本。双驱动结构;非接触式设计提供了高速和准确的定位,比滚珠丝杆结构的位移台在性能有了大的提升,电机免维护和命使用。的控制驱动算法,保证了双电机的运行的一致性。集成式线缆管理;精心优化管线弯曲半径,防止动作过程中影响到运动台的性能。使用高质量的无尘链拖线缆,尽量增长使用寿命,减少停机时间,同时设备外观整洁,创造个良好的作业环境,是洁净室内使用的理想选择。如需了解多,欢迎来电咨询!!!